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四重極質量分析計(マスフィルタ)

四重極質量分析計(マスフィルタ)

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有機分子等の高分子の測定ができる汎用機

【用途】
◎質量数 1〜410a.m.u
◎高性能
 最小検知分圧 1.0×10-12Pa以下
 ダイナミックレンジ 8桁
◎高機能
◎コンパクトコントローラ
◎低価格

【用途】
◎ガス分析(UHVに最適)
◎触媒反応ガス分析
◎TDSガス分析
◎PFCモニタ

【メーカー】
キヤノンアネルバ


高速型ガス導入型
イオン源仕様
M-401QA-MGHY 4,840,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
基本性能
質量数
1〜410amu
分解能
M/△M≧2M
感度(N2)
FC
≧4×10-7A/Pa(ガス導入型) ≧4×10-6A/Pa(UHV型)
SEM
≧4×10-1A/Pa(ガス導入型) ≧4A/Pa(UHV型)
最小検知分圧
1.0×10-12Pa以下
動作圧力
1.3×10-2Pa以下
ダイナミックレンジ
8桁…ガス導入型 7桁…UHV型
分析管
イオン源
ガス導入型(箱型/カゴ型/)オプション
オプション:UHV型(カゴ型)
フィラメント
3%Re-W×1E(オプション:Re))
検出器
FC/SEM
ベーク温度(動作時)
300℃(100℃)
取付フランジ
φ114ICF
寸法、重量
φ114×L350mm、約5.1Kg
制御電源
エレクトロメータ
1×10-5〜1×10-12Afs(8レンジ)
掃引速度
10msec〜10sec/amu(7レンジ)
デガス機能
箱型:イオンソース・ヒーター
エミッション電流
ガス導入型:0〜300μA、10μAステップ
UHV型:0〜2mA,1mAステップ
EE電圧
5〜100V/0.05Vステップ
QP中心電位制御
0〜150V/1Vステップ
外部通信l/F
RS-232C/RS-485/GPIB(オプション)
所要電力
AC100V,3A
寸法/重量
W286×H209×D181/5.7Kg
接続ケーブル
0.5m
ソフトウェア
QUADVISIONTM (Window98/Me/NT/2000/XP対応)
測定モード
マスピークモニタ(MPM)
多重イオン検出(SIM)
分圧測定(PPM)
リーク テスト(LT)
機能
マルチ制御:最大16CH同時測定可能 面積計算
ステータスチェック
バックグランド差し引き
アベレージ(多重イオン検出・分圧測定)
データCSV変換
MPM→SIM変換
温度読み込(オプション)
圧力読み込(オプション)
ライブラリサーチ用変換(オプション)