【仕様】
基本性能 | 質量数 | 1〜410amu |
| 分解能 | M／△M≧2M |
| 感度(N2) | FC | ≧4×10-7A/Pa(ガス導入型)
≧4×10-6A/Pa(UHV型) |
| SEM | ≧4×10-1A/Pa(ガス導入型)
≧4A/Pa(UHV型) |
| 最小検知分圧 | 1.0×10-12Pa以下 |
| 動作圧力 | 1.3×10-2Pa以下 |
| ダイナミックレンジ | 8桁…ガス導入型
7桁…UHV型 |
分析管 | イオン源 | ガス導入型(箱型/カゴ型/)オプション
オプション：UHV型(カゴ型) |
| フィラメント | 3％Re-W×1Ｅ(オプション：Re)) |
| 検出器 | FC/SEM |
| ベーク温度(動作時) | 300℃(100℃) |
| 取付フランジ | φ114ICF |
| 寸法、重量 | φ114×L350mm、約5.1Kg |
制御電源 | エレクトロメータ | 1×10-5〜1×10-12Afs(8レンジ) |
| 掃引速度 | 10msec〜10sec/amu(7レンジ) |
| デガス機能 | 箱型：イオンソース・ヒーター |
| エミッション電流 |
ガス導入型：0〜300μA､10μAステップ
ＵＨＶ型：0〜2mA,1mAステップ |
| EE電圧 | 5〜100V/0.05Vステップ |
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QP中心電位制御 | 0〜150V/1Vステップ |
| 外部通信l/F | RS-232C/RS-485/GPIB(オプション) |
| 所要電力 | AC100V,3A |
| 寸法/重量 | W286×H209×D181/5.7Kg |
| 接続ケーブル | 0.5m |
| ソフトウェア | QUADVISIONTM
(Window98/Me/NT/2000/XP対応) |
| 測定モード | マスピークモニタ(MPM)
多重イオン検出(SIM)
分圧測定(PPM)
リーク テスト(LT) |
| 機能 | マルチ制御：最大16CH同時測定可能
面積計算
ステータスチェック
バックグランド差し引き
アベレージ(多重イオン検出・分圧測定)
データCSV変換
MPM→SIM変換
温度読み込(オプション)
圧力読み込(オプション)
ライブラリサーチ用変換(オプション)
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