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大流量・エコノミーマスフローコントローラ

大流量・エコノミーマスフローコントローラ

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魅力あるコストで、微少流量から
大流量まで対応！
●工業炉・熱処理炉用のバーナーガス制御
●ロー付けバーナーガス制御
●各種チャンバーの雰囲気ガス制御

高速応答
流量設定値まで1秒以内

高精度
±1.0%F.S.以内

高信頼性
オートゼロアジャスト機能搭載


SEC-E40MK3set 228,250円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【セット内容】
・マスフローコントローラ SEC-E40MK3
・制御ユニット PE-D20
・信号ケーブル3m SC-EDH-3M

【仕様】
対応ガス種 *1 非腐食性ガス(MK3モデルはN2、O2、Air、H2、Ar、Heに対応)
接ガス部材質 SUS316L、SUS316、バイトン、PTFE、磁性ステンレス
バルブ型式 非通電時 閉
標準流量レンジ
(N2相当F.S.)		 10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM
1/2/3/5/10 SLM
流量制御範囲
(SECシリーズに対応)		 2〜100% F.S.
流量計測範囲
(SEFシリーズに対応)		 0〜100% F.S.
応答速度 1秒以内(T98)
流量精度 ±1% F.S.
直線性 ±0.5% F.S.
繰返性 ±0.2% F.S.
動作差圧
(SECシリーズに対応)		 10 SCCM〜5 SLM:50〜300kPA(d)
10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用圧力
(SEFシリーズに対応)		 300kPa(G)以下
耐圧 1MPa(G)以下
外部リークレート 1×10-10Pa・m3/s(He)以下 *3
使用可能周囲温度 5〜50℃(精度保証：15〜35℃)
流量設定信号 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)/2〜100% F.S.
流量出力信号 0〜5VDC(最小負荷抵抗2kΩ)
駆動電源 +15VDC ±5% 50mA
-15VDC ±5% 150mA 3VA
標準継手 *2 1/4スウェージロック タイプ
*1：記載以外のガス種については、別途お問い合せください。
*2：標準継手以外の対応も可能です。別途お問い合せください。
*3：機械的リーク(SEMI E16-90)