[仕様]
ASG-1 (高真空タイプ)
・取付フランジ：ICF70フランジ付ゲージアダプタ
※高真空タイプに関しては、スパッタガン本体の価格になります。(フランジなし)
※フランジに接続の場合は、ダブルOリングアダプターAQPシリーズが別途必要です。
・カソードサイズ：φ36
・取付可能ﾀｰｹﾞｯﾄｻｲｽﾞ：非磁性φ1"/ t5(※1) Max 磁性材φ1"/ t1 Max
※1熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。(詳細は、ご相談下さい。)
・最大入力 ：100W (RF / DC)
・入力コネクタ ：N型
・ガイドパイプ径 ：φ19
・冷却水 ：1L/min以上（φ1/4”SWG継手）
・ベーキング ：≦150℃
ASG-1-UHV (UHVタイプ)
・取付フランジ：ICF70-FH
・カソードサイズ：φ36
・取付可能ﾀｰｹﾞｯﾄｻｲｽﾞ：非磁性φ1"/ t5(※1) Max 磁性材φ1"/ t1 Max
※1 熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。(詳細はご相談下さい。)
・最大入力 ：100W (RF / DC)
・入力コネクタ ：N型
・冷却水 ：1L/min.以上（φ1/4”SWG継手）
・ベーキング ：≦150℃
