[仕様]
ASG-2 (高真空タイプ)
・取付フランジ：ICF114〜選択可/Oリングシール
(位置調整可能)
※価格はスパッタガン本体の価格になります。(フランジなし)
※フランジに接続の場合は、ダブルOリングアダプターAQPシリーズが別途必要です。
・カソードサイズ：φ63
・取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ2" / t5 Max 磁性材φ2" /t1 Max
・最大入力 ：300W (RF / DC)
・入力コネクタ ：HN型
・ガイドパイプ径 ：φ19
・冷却水 ：2L/min.以上（φ1/4”SWG継手）
・ベーキング ：≦150℃
ASG-2-UHV (UHVタイプ)
・取付フランジ：ICF114-FH
・カソードサイズ：φ63
・取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ2" / t5 Max 磁性材φ2" /t1 Max
・最大入力 ：300W (RF / DC)
・入力コネクタ ：HN型
・冷却水 ：2L/min.以上（φ1/4”SWG継手）
・ベーキング ：≦150℃
