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O-リング回転軸シールの高真空ゲートバルブ 高真空対応の標準バルブ パーティクルの発生が少ないVATLOCKによる確実なロック 6通りのアクチュエータ取り付け位置選択可能 (装置取り合いに合わせて) 【メーカー】 VAT株式会社
【仕様】 リーク量 1×10-10Pam3S-1 使用圧力範囲1×10-6Pa〜0.2MPa ゲートにかけ得る許容最大差圧≦0.2MPa バルブを開けるときの許容最大差圧 ≦30hPa 第一回サービスまでのサイクル数 200,000 許容温度 バルブ ≦150℃ アクチュエータ ≦80℃ リミットスイッチ ≦80℃ 電磁弁 ≦50℃ 材質：ボディ ステンレススチール シール材（ゲート、ボンネット） FKM(VITON) 取り付け方向 自由
