HOME > ガス導入系 > デジタルマスフローコントローラセット

デジタルマスフローコントローラセット

デジタルマスフローコントローラセット

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

webブラウザにて操作可能
素早い追従性(応答速度:0.755)

【メーカー】

mks


エラストマシール GE50Aset 399,600円 お問合わせ下さい お問い合せ
エラストマシール GE50AxxxyyyzAV020 294,840円 お問合わせ下さい お問い合せ
メタルシール GM50Aset 447,700円 お問合わせ下さい お問い合せ
メタルシール GM50AxxxyyyzAMO20 341,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
流量制限範囲:2%〜100% F.S.
精度    :±1% 20〜100% F.S.
再現性   :±0.3% of Reading
動作温度  :10℃〜50℃

【セット内容】
・MFC本体 GE50AxxxyyyzAVO20 or GM50AxxxyyyzAMO20
 継手4VCRM、1/4"SWG、流量5〜50000sccm
 ※ガス種をご指定下さい。
・電源表示器 OPT327
・接続ケーブル 3m CB5000-353-03