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デジタルマスフローコントローラセット

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

webブラウザにて操作可能
素早い追従性(応答速度：0.755)

【メーカー】
mks

エラストマシール	GE50Aset	399,600円	お問合わせ下さい
エラストマシール	GE50AxxxyyyzAV020	294,840円	お問合わせ下さい
メタルシール	GM50Aset	447,700円	お問合わせ下さい
メタルシール	GM50AxxxyyyzAMO20	341,000円	お問合わせ下さい
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。 ※送料等は"ご利用ガイド"へ

【仕様】
流量制限範囲：2%〜100% F.S.
精度　　　　：±1%　20〜100% F.S.
再現性　　　：±0.3% of Reading
動作温度　　：10℃〜50℃

【セット内容】
・MFC本体　GE50AxxxyyyzAVO20 or GM50AxxxyyyzAMO20
　継手4VCRM、1/4"SWG、流量5〜50000sccm
　※ガス種をご指定下さい。
・電源表示器　OPT327
・接続ケーブル 3m　CB5000-353-03