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膜厚/蒸着レートモニター

膜厚/蒸着レートモニター

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

・低価格の装置
・USB接続
・内蔵型オシレータ
・高精度で毎秒10回の測定
・外部オシレータに対応

付属のソフトウェアにて、データロギング、グラフ表示、蒸着パラメーターの設定が行えます。

【メーカー】
インフィコン


STM-2 173,800円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

センサー種類 シングルQCMセンサー（シャッター制御はできません）
センサー入力数 STM-2×1台に付きセンサー×１台
センサー入力端子 BNCメスコネクタ
使用可能な水晶振動子 6　MHz
周波数分解能 ±0.03Hz
測定間隔 0.10　s
基準周波数の安定性 ±2ppm

膜厚とレートの
　　　　　　　　　　　　　　分解能/測定

 ±0.037Å（Tooling Faactor=100、密度=1、Z ratio=1、6　MHzの場合）
膜厚の表示の分解能 1Å（ソフトウェアでの表示のみ）
インターフェース

400mA、5V　DCの給電が可能なv1.1以降のUSB
寸法

11.4×7.6×2.5cm（4.5×3×1インチ）
質量 57g
コンピュータ要件

Windows 2000以降のMicrosoft のいずれかのOSを実行しているパソコンで、
１台のSTM-2につき１つのUSB1.1以降のポートを使用できること。