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超小型高真空対応NEGポンプ

超小型高真空対応NEGポンプ

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どう排気速度イオンポンプに比べてサイズ1/5!!
重量1/10以下!
・10-5Pa台からの使用が可能!
・従来の合金と比べて数十倍の吸増量

【用途】
・高真空領域における薄膜形成装置
・MBE
・ロードロックチャンバーの排気速度時間短縮
・SEM、TEM、FIBその他の分析システム


ICF70/ICF114 CapaciTorrHV200 1,308,120円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF203 CapaciTorrHV1600 3,424,740円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF253 CapaciTorrHV2100 4,211,240円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】
型式 CapaciTorrHV200 CapaciTorrHV1600 CapaciTorrHV2100
フランジサイズ 取付フランジICF70/ICF114 取付フランジICF203 取付フランジICF253
専用電源 専用電源NEG POWER MINI #3B0110 専用電源NEG POWER C1 #3B0501
ケーブル 出力ケーブル3m NEG CABLE 4P10A 3MT #3B0601 出力ケーブル3m NEG CABLE 6P10A 3MT #3B0602