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高圧縮型(複合軸受)ターボ分子ポンプTMP-B300

高圧縮型(複合軸受)ターボ分子ポンプTMP-B300

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コンパクトな設計
分析装置におすすめ

【セット内容】
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・TMP-B300本体(コントローラ一体型)
・AC100V電源セット
・接続ケーブル3m
・空冷ファン


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・TMP-B300本体
・表示付電源EI-DPS240(J)
・ACケーブル
・接続ケーブル3m
・空冷ファン


ｺﾝﾄﾛｰﾗ一体型 TMP-B300 1,654,400円 お問合わせ下さい お問い合せ
ｺﾝﾄﾛｰﾗｾﾊﾟﾚｰﾄ型 TMP-B300_DPS 1,702,800円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】
形名 TMP-B300
冷却方法 強制空冷
到達圧力 ベーキング後 10-8Paオーダー
ベーキング前 10-6Paオーダー
排気速度 N2 280L/s
He 270L/s
H2 220L/s
最大圧縮比 N2 >1×109
He 7×106
H2 1×105
臨界背圧(N2ガス、60000rpm) 1300Pa
連続運転可能な最大排気口圧力 N２ 1000pa(周辺温度25℃以下)
930pa(周辺温度35℃以下)
連続運転可能なN2ガス最大許容流量 100SCCM(周辺温度25℃)
40SCCM(周辺温度35℃)
質量 VG 6.6kg
ISO 6.3kg
ICF 9.7kg
軸受方式 磁気軸受
セラミック玉軸受
吸気口フランジ ICF152、VG100、ISO100K
排気口フランジ KF16
規定回転数 60000rpm
起動時間(80%)まで 3.5分
取り付け方向 全方位
騒音[弊社測定方法による] ≦50dBA
許容磁束密度 半径方向 3mT
軸方向 15mT
電源 電圧 DC24V±5%
最大所要電力 180W