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ASM310特徴 オイルフリーポンプ搭載 補助ポンプ排気速度:1.7m<3/sup>/h 操作性に優れたカラータッチ画面
[仕様] 測定可能な質量 4He 3He H2 Heに対する排気量 1.1l/s 立ち上がり時間 2分以内(3.5分/オートキャリブレーション時)