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磁気浮上式ターボ分子ポンプ

磁気浮上式ターボ分子ポンプ

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メンテナンスフリー
オイルフリー
取り付け方向自在
低振動
低ノイズ
立ち上がり時間短縮のため、独自開発のベント方式・ベントバルブを標準装備。

【メーカー】
 PFEIFFER


170L/s(H2) HiPace300M 3,928,430円 お問合わせ下さい お問い合せ
480L/s(H2) HiPace700M 4,570,830円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【セット内容】
・ポンプ本体
・OmniControl400,電源付き
・電源入力ケーブル3m
・接続ケーブル3m
・スプリンターシールド
・空冷ファン付き
・ｲﾝﾀｰﾌｪｰｽｹｰﾌﾞﾙ

【仕様】

HiPace300MHiPace700M
電子駆動ユニット TM700 TM700
吸気口 DN100CF-F DN160CF-F
排気口 DN16 ISO-KF DN25 ISO-KF
ベント接続 G1/8" G1/8"
排気速度(ℓ/s)H2 170 480
排気速度(ℓ/s)He 215 600
排気速度(ℓ/s)N2 255 685
排気速度(ℓ/s)Ar 250 660
排気速度(ℓ/s)IF4 - -
圧縮比H2 5.0・105 2.0・105
圧縮比He >1.0・108 >1.0・107
圧縮比N2 >1.0・1011 >1.0・1011
圧縮比Ar >1.0・1011 >1.0・1011
圧縮比IF4 - -
許容排気口圧力(Pa) 2.0・103 8.0・102
Pam3/s(N2) 2.8 1.3
Pam3/s(Ar) 1.3 0.8
到達真空度(Pa) ＜5・10-8 ＜5・10-8
定常回転数(1min) 60,000 49,200
立ち上がり時間(min) ＜2.0 ＜4.0
標準冷却方式 空冷 空冷
冷却水消費量(L/h) 80 80
冷却水温度(℃) 15-35 15-35
インターフェース RS-485,リモート RS-485,リモート
質量(Kg) 17.2 20.8