【仕様】
手動式
リーク量:ボディ・バルブシート共
<1・10-11Pa m3 s-1
使用圧力範囲 XHV to 2bar (abs)
プレートにかけうる許容最大差圧 2bar
バルブを開ける時の許容最大差圧 1bar (>1bar with reduced cycle life)
分子流領域におけるコンダクタンス
-DN 16/40/63 5/50/105 ls-1
バルブの寿命 1,000 cycles
回転数/ストローク
-DN 16/40/63 6/11/9
ベークアウト温度 バルブ ≦300℃
加熱及び冷却速度 ≦60℃h-1
取付方向 自由