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直線的な配管仕切用として最適! 【メーカー】VAT株式会社
[仕様]リーク量:ボディ・バルブシート共 <1・10-10Pa m3 s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.2MPa/0.4MPa (abs) プレートにかけうる許容最大差圧 ≦0.2MPa(開)/≦0.5MPa(閉) バルブを開けるときの許容最大差圧 ≦0.1MPa(両方向) 第1回サービスまでのサイクル数 3,000,000 ベークアウト温度 ボディ ≦150℃ 手動及び圧空アクチュエータ ≦120℃ リミットスイッチ ≦80℃ (オプション:120℃) 電磁弁 ≦80℃