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TMPと粗引きポンプの間の仕切り用に最適! ◎確実な動作、簡単なメンテナンス ◎洗練されたモジュラーデザイン 高真空アングルバルブの標準でベローズ軸シールを使用しています。高い信頼性と耐久性があります。 【メーカー】VAT株式会社
【仕様】 リーク量：ボディ・バルブシート共 ＜1・10-10Pa m3 s-1 使用圧力範囲 1・10-6Pa to 0.2MPa/0.4MPa (abs) プレートにかけうる許容最大差圧 ≦0.2MPa(開)/≦0.5MPa(閉) バルブを開けるときの許容最大差圧 ≦0.1MPa(両方向) ベークアウト温度 ボディ ≦150℃ 手動及び圧空アクチュエータ ≦120℃
