RHEED回折像から結晶格子間隔、 ひずみ変化・薄膜成長レート・膜厚・コヒーレンス長などの 他に、結晶薄膜表面の評価 / 分析に必要な情報を引き出せ るようになりました。
取得した回折画像や映像分析はもちろん高速基板回転中の 取得データのIn-situ分析においても、すばやく完全な結果 が得られます。

用途により
12ビットCCDカメラ(88フレーム/秒)、
14ビットCCDカメラ(15フレーム/秒)、
エントリーモデルのkSA400 Lite
から選択いただけます。

【メーカー】
k-Space

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