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L型バルブ

L型バルブ

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超高真空領域まで使用可能
STDシリーズは10-7Pa程度、MSBシリーズは10-8Pa程度の超高真空領域までご使用できます。(真空シール部にはグリース等の補助シールを一切使用していません)
また、STDシリーズはご購入後、より超高真空対応のMSBシリーズへ変更したい場合でも、数点の部品交換のみで対応できます。

量産装置に最適な長寿命バルブ
内蔵されているベローズは全て100万サイクル以上の寿命を持つ長寿命成形ベローズです。まだ材質はSUS316Lより一般的に耐食性の優れた、ハステロイ合金(耐蝕、耐熱合金)を用いています。

開閉 ポジションセンサスイッチ
圧空駆動式バルブ及びNC(圧空駆動ノーマルクルーズ)式バルブに使用しているエアーシリンダは、全て開閉用ポジションセンサスイッチを備えています。

優れた許容加熱性
圧空駆動式バルブ及びNC式バルブのエアーシリンダ耐熱は120℃の高温仕様となっております。そのため、バルブ開時のバルブボディ部加熱温度はSTDシリーズで150℃、MSBシリーズで200℃までベークアウトができます。
(但し、センサスイッチ許容温度が60℃となっていますのでご注意下さい。)


【メーカー】
キヤノンアネルバ


ICF70 V-040LV-MMI 264,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】

サイズ(呼び)STDシリーズMSBシリーズ
40 40
使用圧力領域大気圧〜10-7Pa程度大気圧〜10-8Pa程度
Heリーク量弁座部リーク6.7×10-11Pa・m3/sec以下
外部リーク6.7×10-11Pa・m3/sec以下1.3×10-11Pa・m3/sec以下
全開時コンダクタンス (L/sec)19
ベローズ寿命1×106 サイクル
許容加熱温度バルブ開時150℃200℃
バルブ閉時125℃
メンテナンスタイム100万サイクル又は1年
主要部材料バルブボディSUS-304
ベローズハステロイ　C-22
駆動部エアーシリンダ (圧空駆動式バルブ), バイトン(手動バルブ)：アルミ合金
真空シール材フッ素ゴム(バイトン)Oリングフッ素ゴム(バイトン)Oリング (メインシール部)
作動エアー圧0.4〜0.6MPa
エアー消費量 (L/サイクル)0.12
エアー供給口Rc1/8
使用流体大気 またはガス (腐食性ガスを除く)
接続フランジICFフランジφ70ICF回転
NWフランジNW40
旧JISフランジ旧JIS 40A

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