スパッタ装置で差動排気なしでプロセス中のガスをモニターできる

【特長】
・成膜中に高感度で水素を検出可能
・メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト
・さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出

【仕様】
動作圧力：1.3Pa以下
接続フランジ：φ70ICF
通信規格：RS-232C
制御ソフトウェア：QUADVISION3 Win10対応



【メーカー】
キヤノンアネルバ