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複合型ターボ分子ポンプ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

大流量のガスを流せる磁気浮上式型の複合分子ポンプ

320L/s	TG390MCAB	2,860,000円	お問合わせ下さい
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。 ※送料等は"ご利用ガイド"へ

【セット内容】
・本体
・コントローラ
・空冷ファン
・出力ケーブル３m
・入力ケーブル３m(端末処理無し)
・吸気口保護金網

【仕様】
吸気フランジICF152
排気速度：320L/s (N₂)
到達圧力：<1×10^-6Pa
最大ガス流量：2000sccm(N₂)
※補助ポンプ320L/min使用時
磁気軸受型・単相200V