【仕様】
リーク量:ボディ、シート共 <1・10-10Pa m3S-1
使用圧力範囲 1・10-5Pa to 0.5MPa(abs)
第1回サービスまでのサイクル数 100,000
ベークアウト温度
−バルブボディ ≦100℃
−ハンドホイール ≦ 50℃
材質
−バルブボディ AlMgSi (AA6060/6061/6063/6083)
−アクチュエータボディ
及びハンドホイール plastic(POM)
−シール diaphragm made of VITON
取り付け方向 自由
分子流領域におけるコンダクタンス
−DN16/25/40 2/5/17Is-1
スピンドル回転数/ストローク
−DN16/25/40 3.5/5/6.5
重量
−DN16 0.16kg/0.35 lbs
−DN25 0.5 kg/1.1 lbs
−DN40 1.2 kg/2.6 lbs
バルブ開閉位置表示 機械的な目視位置表示付き