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【特長】 ・すべての活性ガスに対し高い排気速度 ・コンパクトなデザイン軽量 ・磁場干渉、振動の発生なし 【用途】 ・UHV-XHV 真空システム ・薄膜蒸着装置 ・ポータブル搬送装置 ・SEM、TEM、FIBその他の分析システム 【メーカー】 サエス・ゲッターズ