【仕様】
    | 電極材質 | ピラニ:Niピラニ温度計:Pt100
 BAフィラメント:Y-lr
 グリッド:Pt-Mo
 コレクタ:Pt-Mo
 | 
| 圧力単位 | Pa,Torr,mbar | 
| タフモード | 測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱 OFF,約300℃,約500℃,約700℃に設定可
 | 
| デガス | グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱 | 
| インターフェイス | RS232C表示器(TGD100)、PCに接続可
 | 
| 入力信号 | 測定開始/停止、デガス、タフモード ON/OFF | 
| 出力信号 | セットポイント接点×2ch、アラーム接点 | 
| 圧力信号出力 | 0-10V×1ch | 
| 入力電源 | DC24V、0.8A | 
| 接続フランジ | NW25、ICF70 |