【仕様】
電極材質 |
ピラニ:Ni ピラニ温度計:Pt100 BAフィラメント:Y-lr グリッド:Pt-Mo コレクタ:Pt-Mo |
圧力単位 | Pa,Torr,mbar |
タフモード | 測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱 OFF,約300℃,約500℃,約700℃に設定可 |
デガス | グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱 |
インターフェイス |
RS232C 表示器(TGD100)、PCに接続可 |
入力信号 |
測定開始/停止、デガス、タフモード ON/OFF |
出力信号 |
セットポイント接点×2ch、アラーム接点 |
圧力信号出力 |
0-10V×1ch |
入力電源 |
DC24V、0.8A |
接続フランジ |
NW25、ICF70 |