【用途】
・完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
・超高真空及び極高真空実験装置
・電子顕微鏡、表面分析装置など各種分析装置の排気系
・粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置などの排気系
・電子管などの真空保持ポンプ
・電子管などの加熱排気装置
など
【特長】1.完全オイルフリー
・油などの有機物を一切使用していない為、系を汚さず清浄な真空が得られます。
2.超高真空、極高真空
・10
-3Pa〜10
-9Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適です。
3.無人運転
・運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利です。
・また、圧力が10
-3〜10
-2Pa以上になると、自動的に電源OFFするプロテクション回路がついてます。
4.静かな運転
・機械的に運動する部分が全くないため、完全に無振動・無騒音です。
5.省エネルギー
・圧力に比例して消費電力が下がってきますので、起動時以外はほとんど電力を消費しません。
7.速い起動
8.不活性ガスの排気
9.取付方向自由
・取付け方向は、上・下・水平・斜めと制限無し。
10.低漏洩磁場
・20L/s以上のポンプにはフェライト磁石を使用しています。
・漏洩磁場は、フランジより30cmの点でほぼ地磁気と同一まで減衰します。
【仕様】
| 商品番号 |
912-7125 | 912-7135 | 912-7165 |
| 排気速度 |
20L/s(N2) | 30L/s(N2) | 60L/s(N2) |
| 動作範囲(Pa) |
10-3〜10-9 | 10-3〜10-9 | 10-3〜10-9 |
| 起動可能圧力※ |
1x10-2Pa以下 | 1x10-2Pa以下 | 5x10-3Pa以下 |
| 内容積 |
1.4L | 2.2L | 6.2L |
| 最大加熱温度 |
300℃ | 300℃ | 300℃ |
| 吸入口 |
ICF70 | ICF114 | ICF152 |
| 電流導入端子 |
交換不可 | 954-7281 | 954-7281 |
| 素子(交換用) |
交換不可 | 交換不可 | 915-7027(1組) |
| マグネット |
912-7121(1個)
本体を含む | 912-7121(1個)
本体を含む
| 912-7121(2個)
本体を含む
|
| 質量 |
10.5kg | 12.5kg | 25.6kg |
※PIC-511IP制御装置を使用した場合の値です。
