【仕様】
           
            | 測定範囲 | 
            1.33×10-7〜6.65Pa | 
          
           
            | 圧力表示 | 
            デジタル表示:有機EL(仮数部3桁、指数部2桁) | 
          
  
            | フィラメント素材 | 
            イットリアコートイリジウム | 
          
           
            | デガス | 
            3Wボンバード方式 | 
          
          
            | セットポイント | 
            1点、接点容量:DC30V/1A | 
          
          
            | アナログ出力 | 
            DC0〜9V | 
          
          
            | デジタルインタフェース | 
            RS485 | 
          
          
            | フランジ | 
            NW25/ICF70 | 
          
          
            | 電源電圧 | 
            DC20〜28V、13W ※AC電源で使用の場合は別途ACアダプタが必要(オプション) | 
          
          
            | 動作周囲温度 | 
            0〜40℃ | 
          
          
            | 湿度 | 
            0〜95℃ (結露しないこと) | 
          
          
            | ベーキング温度 | 
            200℃ (回路部を取り外すこと) | 
          
          
            | 重量 | 
            NW25 390g/ICF70 620g | 
          
          
            | CEマーキング | 
            適合 | 
          
          
            | 製品構成 | 
            本体、Dサブコネクタ 9pinオス、 Dサブコネクタ 9pinメス | 
          
          
            | その他 | 
            ガス種設定:16種類 |