【仕様】
測定範囲 |
1.33×10-7〜6.65Pa |
圧力表示 |
デジタル表示:有機EL(仮数部3桁、指数部2桁) |
フィラメント素材 |
イットリアコートイリジウム |
デガス |
3Wボンバード方式 |
セットポイント |
1点、接点容量:DC30V/1A |
アナログ出力 |
DC0〜9V |
デジタルインタフェース |
RS485 |
フランジ |
NW25/ICF70 |
電源電圧 |
DC20〜28V、13W ※AC電源で使用の場合は別途ACアダプタが必要(オプション) |
動作周囲温度 |
0〜40℃ |
湿度 |
0〜95℃ (結露しないこと) |
ベーキング温度 |
200℃ (回路部を取り外すこと) |
重量 |
NW25 390g/ICF70 620g |
CEマーキング |
適合 |
製品構成 |
本体、Dサブコネクタ 9pinオス、 Dサブコネクタ 9pinメス |
その他 |
ガス種設定:16種類 |