超高真空領域測定用
測定範囲 : 10^-2〜10^-9Pa
フランジ : ICF70

1.圧力レンジは自動切換
2.圧力及び種々のメッセージが液晶表示
3.豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作
4.セットポイントを2点標準装備
5.記録計用出力として、D/A出力(仮数、指数、複合、LOGの4出力)を標準装備
6.APC用に、便利なレンジホールド機能を標準装備の為、設定圧力レンジへの固定/解除が可能
　APC用の信号としてD/A出力とは別個に高速応答のアナログ出力を用意
7.ガス種による比感度の設定が可能 　

【メーカー】
キヤノンアネルバ