【仕様】
| 測定球 |
XG-1クリスタルゲージヘッド(クリスタルゲージ専用) |
| 測定圧力範囲 |
大気圧〜10-2Pa |
| Gas種選択 |
N2、Ar、H2、Air |
| アナログ出力(圧力信号) | DC 0-10V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定
1.Log出力 ;
2.複合出力
3.リニア出力 フルスケール圧力レンジ選択可能
(1×101､1×102､1×103､1×104､1×105Pa) |
リモートI/O |
INPUT 1.ガス種設定2bit信号で切換え
2.ゼロ調整
3.ATM設定
OUTPUT：セットポイント出力2点
|
セットポイント |
2点(フォトカプラ出力、ヒステリシス固定)
デジットスイッチにより設定(SP１、SP２共仮数部、指数部) |
動作環境 |
5℃〜50℃(ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ含む)
ゲージヘッドのみの耐熱温度150℃MAX |
| ゼロ調整 |
PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調整 |
| フルスケール調整 |
トリマーボリュームによる調整 |
| 入出力コネクタ |
Dsub 15P |
| 表示 |
LED 3ケ(PWR/ALM..緑/赤の２色発光、
SP1ｰStatus..緑 SP2ｰStatus..緑) |
| 所要電力 |
DC22V〜33V、(最大消費電力2W) |
| 外形寸法(ｍｍ) |
72.5H×102W×44.5D(ゲージヘッド含まず) |
| 質量 |
200g(ゲージヘッド含まず) |
| センサー取付けフランジ |
NW16,NW25,φ34ICF,φ70ICF |
【用途】
・各種真空装置のあら引き圧力の測定
・各種プロセスの圧力測定
・チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ
