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UHVゲートバルブ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

超高真空対応の最適・標準バルブです。

・最新のVATLOCK機構により極小ショックによる閉動作、最小磨耗を実現

【メーカー】
VAT株式会社

ICF114	10836-CE01	539,000円	お問合わせ下さい
ICF152	10840-CE01	703,340円	お問合わせ下さい
ICF203	10844-CE01	932,690円	お問合わせ下さい
ICF253	10846-CE01	1,281,500円	お問合わせ下さい
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。 ※送料等は"ご利用ガイド"へ

【仕様】
手動式：ハンドホイール

リーク量 　－ボディ 　－バルブシート	＜5・10-11Pa m3 s-1 ＜1・10-10Pa m3 s-1
使用圧力範囲	1・10-8Pa to 0.16MPa(abs)
ゲートにかかる許容最大差圧 （DN63-200）	≦0.16MPa in either direction
バルブを開ける時の許容最大差圧	≦30 hPa
第１回サービスまでのサイクル数	50,000
ベークアウト温度 　－バルブボディ 　－手動アクチュエータ	≦250℃ open、200℃ closed ≦250℃
加熱及び冷却速度	≦50℃ ｈ-1
シール材料 　－ボンネット 　－ゲート	メタル VITON