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UHVゲートバルブ (圧空作動式)

UHVゲートバルブ (圧空作動式)

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最新のVATLOCK機構により極小ショックによる閉動作、最小磨耗を実現.
超高真空対応の最適・標準バルブです。
電磁弁、リミットスイッチ付。

【メーカー】
VAT株式会社


ICF114 10836-CE44 551,980円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF152 10840-CE44 677,380円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF203 10844-CE44 910,580円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF253 10846-CE44 1,189,100円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
圧空作動式:複動シリンダー リミットスイッチ付、電磁弁付

リーク量
 −ボディ
 −バルブシート

<5・10-11Pa m3 s-1
<1・10-10Pa m3 s-1
使用圧力範囲 1・10-8Pa to 0.16MPa(abs)
ゲートにかかる許容最大差圧 ≦0.16MPa in either direction
バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30 hPa
第1回サービスまでのサイクル数 50,000
ベークアウト温度
 −バルブボディ
 −圧空アクチュエータ
 −リミットスイッチ
 −電磁弁

≦250℃ open、200℃ closed
≦200℃
≦80℃
≦50℃
加熱及び冷却速度 ≦50℃ h-1
シール
ゲート
metal
VITON(vulcanized)