【仕様】
圧空作動式:複動シリンダー リミットスイッチ付、電磁弁付
リーク量
−ボディ −バルブシート |
<5・10-11Pa m3 s-1
<1・10-10Pa m3 s-1
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使用圧力範囲 |
1・10-8Pa to 0.16MPa(abs) |
ゲートにかかる許容最大差圧 |
≦0.16MPa in either direction |
バルブを開ける時の許容最大差圧 |
≦30 hPa |
第1回サービスまでのサイクル数 |
50,000 |
ベークアウト温度 −バルブボディ −圧空アクチュエータ −リミットスイッチ −電磁弁
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≦250℃ open、200℃ closed
≦200℃
≦80℃
≦50℃ |
加熱及び冷却速度 |
≦50℃ h-1 |
シール
ゲート |
metal
VITON(vulcanized) |