HOME > バルブ > ミニUHVゲートバルブ

ミニUHVゲートバルブ

ミニUHVゲートバルブ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

ICF70UHVバルブMONOVAT機構により、最小限のパーティクル発生
長いサイクルライフが特徴。

【メーカー】
VAT株式会社




ICF70 01032-CE01 277,090円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
手動式:ハンドホイール
リーク量 ボディ シート <5・10-11Pa m3-1 <1・10-10-Pa m3-1 
使用圧力範囲1・10-8Pa to 0.2MPa(abs)
ゲートにかかる許容最大差圧 ≦0.2MPa in either direction
バルブを開ける時の 許容最大差圧≦30 hPa
第1回サービスまでのサイクル数 50,000
ベークアウト温度 バルブボディ 手動アクチュエータ ≦250℃ open、200℃ closed ≦250℃
加熱及び冷却速度≦50℃ h-1
材質 バルブボディ、フランジ ゲート ベローズ  AISI304(1.4301)/AISI316L(1.4435) AISI304(1.4301) AISI316L(1.4435)
シール ボンネット ゲート metal VITON(vulcanized)