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ミニUHVゲートバルブ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

ICF70UHVバルブMONOVAT機構により、最小限のパーティクル発生
長いサイクルライフが特徴。

【メーカー】
VAT株式会社

ICF70	01032-CE01	308,440円	お問合わせ下さい
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。 ※送料等は"ご利用ガイド"へ

【仕様】
手動式：ハンドホイール

リーク量 ボディ シート	＜５・１０-11Pa ｍ3ｓ-1 ＜１・１０-10-Pa ｍ3ｓ-1
使用圧力範囲	１・１０-8Pa to 0.2MPa(abs)
ゲートにかかる許容最大差圧	≦0.2MPa in either direction
バルブを開ける時の 許容最大差圧	≦30 hPa
第１回サービスまでのサイクル数	５０，０００
ベークアウト温度 バルブボディ 手動アクチュエータ	≦２５０℃ open、200℃ closed ≦２５０℃
加熱及び冷却速度	≦5０℃ ｈ-1
材質 バルブボディ、フランジ ゲート ベローズ	AISI304(1.4301)/AISI316L(1.4435) AISI304(1.4301) AISI316L(1.4435)
シール ボンネット ゲート	metal VITON(vulcanized)