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多層膜蒸着用　膜厚・レートモニター

多層膜蒸着用　膜厚・レートモニター

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

蒸着レートと膜厚の2つのアナログレコーダー出力があります。センサー入力は異なる材料用に複数割り当てられます。また大きな蒸着システムにおいては、正確な蒸着測定のために平均化測定が出来ます。

【メーカー】
インフィコン


モニター標準　2ch SQM-160-S-2-R 375,100円 お問合わせ下さい お問い合せ
モニター標準　6ch SQM-160-S-6-R 572,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
モニター高分解能 2ch SQM-160-H-2-R 441,210円 お問合わせ下さい お問い合せ
モニター高分解能 6ch SQM-160-H-6-R 636,460円 お問合わせ下さい お問い合せ
オシレーターキット
ケーブル3m付		 783-500-109-10 79,200円 お問合わせ下さい お問い合せ
オシレーターキット
ケーブル7.6m付		 783-500-109-25 81,400円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】
センサー入力：2ch標準 , 6chオプション
周波数範囲　：6.5〜1.0MHz
周波数分解能：±0.30Hz(標準), ±0.03Hz(高分解能), 測定時間　　：0.10〜2sec
メモリ保存膜数：99
アナログ出力：2点 0〜5V DC
デジタルI/O：4点入力,4点リレー出力
インターフェイス：RS-232(標準)、USB or Ethernet(オプション)
電源：100〜120/200〜240VAC、50/60Hz、20W