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kSA MOS 薄膜応力&歪みリアルタイム測定システム

kSA MOS 薄膜応力&歪みリアルタイム測定システム

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

二次元平行配列レーザービームをサンプルに照射して、CCDカメラによる各ビームスポット位置検出により、ビームスポット間距離の変化を測定し、ウェハひずみ・応力・反射率・成長率・膜厚・光学定数(n,k)をリアルタイムで高精度に測定ができます。

【メーカー】
k-Space




kSAMOS 16,632,000円 お問い合せ
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