※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。
二次元平行配列レーザービームをサンプルに照射して、CCDカメラによる各ビームスポット位置検出により、ビームスポット間距離の変化を測定し、ウェハひずみ・応力・反射率・成長率・膜厚・光学定数(n,k)をリアルタイムで高精度に測定ができます。 【メーカー】k-Space
