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真空中の直線移動が大気側から操作できる中空直線導入機です。 【メーカー】AVC
【仕様】 許容リーク量 ≦1.33×10-11Pa･m3/sec 真空シール方式 溶接ベローズ方式 駆動方式 ネジ式 許容加熱温度 ≦200℃ 直進力 150N 分解能 0.1mm 型 式 Z軸移動距離(mm) Z軸移動精度(mm) A接続フランジ B移動フランジ C （mm） 重量 （Kg） ALMB-133/30 30 0.5 ICF34-FH ICF34-FT 91〜121 0.6 ALMB-133/50 50 0.5 116〜166 0.7
