◎各種真空装置の検査、フィールドサービスに最適
◎小型の各種真空部品のリークテスト

1.イージーオペレーション
・ボタン操作一つで機器の立ち上げから測定までが行えます。試験体に応じて最適な条件を設定し、簡単にリークテストが行え、感度校正も全て自動で行えます。

2.業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現
・偏向角度180°の質量分析管を採用。ヘリウムイオンの増幅にMCPを搭載
・標準機でも10^-12Pa・m³/Sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現

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[メーカー]
キヤノンアネルバ