【仕様】
| 許容リーク量 |
≦1.33x10-11Pa・m3/sec |
| 真空シール方式 |
溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 |
ネジ式 |
| 許容加熱温度 |
≦200℃
マイクロメーター部除く |
型 式 |
XY軸移動距離
(mm)
XY軸移動精度
(mm) |
Z軸移動距離
(mm) /
Z軸移動精度
(mm) |
A接続フランジ
B移動フランジ |
C
（mm） |
D
（mm） |
E
（mm） |
重量
（Kg） |
| AMP-4/275/50SM |
±12.5
0.01 |
50 / 1 |
ICF114-FH
ICF70-FT |
235〜285 |
319 |
- |
11 |
| AMP-4/275/100SM |
100 / 1 |
240〜340 |
374 |
12 |
| AMP-4/275/150SM |
150 / 1 |
245〜395 |
430 |
13 |
| AMP-4/275/200SM |
200 / 1 |
250〜450 |
484 |
14 |
| AMP-4/275/50LMS |
±12.5
0.005 |
50 / 1 |
235〜285 |
325 |
11 |
| AMP-4/275/100LMS |
100 / 1 |
240〜340 |
380 |
12 |
| AMP-4/275/150LMS |
150 / 1 |
245〜395 |
435 |
13 |
| AMP-4/275/200LMS |
200 / 1 |
250〜450 |
490 |
14 |
| AMP-6/275/50SM |
±12.5
0.01 |
50 / 1 |
ICF152-FH
ICF70-FT |
235〜285 |
319 |
ICF34-FTx4 |
12 |
| AMP-6/275/100SM |
100 / 1 |
240〜340 |
374 |
13 |
| AMP-6/275/150SM |
150 / 1 |
245〜395 |
430 |
13 |
| AMP-6/275/200SM |
200 / 1 |
250〜450 |
484 |
14 |
| AMP-6/275/50LMS |
±12.5
0.005 |
50 / 1 |
235〜285 |
325 |
12 |
| AMP-6/275/100LMS |
100 / 1 |
240〜340 |
380 |
13 |
| AMP-6/275/150LMS |
150 / 1 |
245〜395 |
435 |
14 |
| AMP-6/275/200LMS |
200 / 1 |
250〜450 |
490 |
15 |
| AMP-8/275/50SM |
±12.5
0.01 |
50 / 1 |
ICF203-FH
ICF70-FT |
235〜285 |
319 |
ICF34-FTx5 |
13 |
| AMP-8/275/100SM |
100 / 1 |
240〜340 |
374 |
14 |
| AMP-8/275/150SM |
150 / 1 |
245〜395 |
430 |
15 |
| AMP-8/275/200SM |
200 / 1 |
250〜450 |
484 |
16 |
| AMP-8/275/50LMS |
±12.5
0.005 |
50 / 1 |
235〜285 |
325 |
13 |
| AMP-8/275/100LMS |
100 / 1 |
240〜340 |
380 |
14 |
| AMP-8/275/150LMS |
150 / 1 |
245〜395 |
435 |
15 |
| AMP-8/275/200LMS |
200 / 1 |
250〜450 |
490 |
16 |
