HOME > 膜厚計 > 薄膜蒸着コントローラー

薄膜蒸着コントローラー

薄膜蒸着コントローラー

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

2chのQCMセンサーをモニターでき、同時に2chのPIDソースコントロール出力と8個のデジタルI/Oを持っています。オプションの拡張カードを追加することにより、能力容量を2倍にすることが出来ます。
オプションの共蒸着制御を追加することにより、最大4ソースまでの同時/共蒸着制御が可能です。

【メーカー】
インフィコン


ｽﾀﾝﾀﾞｰﾄﾞﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ2ch SQC-310-2-R-1 674,520円 お問合わせ下さい お問い合せ
ｽﾀﾝﾀﾞｰﾄﾞﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ4ch SQC-310-4-R-1 882,420円 お問合わせ下さい お問い合せ
ｽﾀﾝﾀﾞｰﾄﾞﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ
共蒸着4ch		 SQC-310C-4-R-1 1,194,600円 お問合わせ下さい お問い合せ
オシレーターキット
ケーブル3m		 783-500-109-10_ 53,130円 お問合わせ下さい お問い合せ
オシレーターキット
ケーブル7.6m		 783-500-109-25_ 54,340円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【測定】
QCMセンサー：2ch標準,4chオプション
周波数範囲：6.0〜1.0MHz
周波数分解能：±0.012
周波数安定性：±2ppm (0〜50℃)
測定間隔：0.10〜1.0sec
レート表示分解能：0.01Å/se
膜厚表示分解能：0.001kÅ

【制御】
プロセス：100プロセス、1000層、50フィルム、共蒸着4ソース(オプション)
ソース制御出力：2ch
出力シグナル：0〜±10VDC, 15ビット分解能
デジタルI/O：8個標準
入力：5VDC非絶縁
出力リレー：SPSTフォーム1A, 30V, 2A(最大)