【測定】
QCMセンサー:2ch標準,4chオプション
周波数範囲:6.0〜1.0MHz
周波数分解能:±0.012
周波数安定性:±2ppm (0〜50℃)
測定間隔:0.10〜1.0sec
レート表示分解能:0.01Å/se
膜厚表示分解能:0.001kÅ
【制御】
プロセス:100プロセス、1000層、50フィルム、共蒸着4ソース(オプション)
ソース制御出力:2ch
出力シグナル:0〜±10VDC, 15ビット分解能
デジタルI/O:8個標準
入力:5VDC非絶縁
出力リレー:SPSTフォーム1A, 30V, 2A(最大)