【仕様】
型 式 |
XY軸移動距離
(mm) /
XY移動軸精度(mm) |
A接続フランジ
B移動フランジ |
C内径
（mm） |
D
（mm） |
E
（mm） |
F
（mm） |
重量
（Kg） |
| AXY-275NM |
±12.5 / 1.0 |
ICF70-FT
ICF70-FT |
φ39 |
130 |
145.5±12.5 |
90 |
3.1 |
| AXY-275SM |
±12.5 / 0.01 |
199.5±12.5 |
3.4 |
| AXY-275LM |
±12.5 / 0.005 |
193.5±12.5 |
3.5 |
| AXY-4/275NM |
±12.5 / 1.0 |
ICF114-FT
ICF70-FT |
145.5±12.5 |
3.8 |
| AXY-4/275SM |
±12.5 / 0.01 |
199.5±12.5 |
3.9 |
| AXY-4/275LM |
±12.5 / 0.005 |
193.5±12.5 |
4.1 |
| AXY-4/4NM |
±12.5 / 1.0 |
ICF114-FT |
φ70 |
180 |
170.5±12.5 |
130 |
8.1 |
| AXY-4/4LM |
±12.5 / 0.005 |
218.5±12.5 |
8.4 |
| AXY-6/4NM |
±12.5 / 1.0 |
ICF152-FT
ICF114-FT |
170.5±12.5 |
9.8 |
| AXY-6/4LM |
±12.5 / 0.005 |
218.5±12.5 |
10 |
| AXY-8/4NM |
±12.5 / 1.0 |
ICF203-FT
ICF114-FT |
170.5±12.5 |
150 |
12 |
| AXY-8/4LM |
±12.5 / 0.005 |
218.5±12.5 |
※Xステージもございます。
