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チルトステージ ATSシリーズ

チルトステージ ATSシリーズ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

導入系の角度変更・位置補正が、大気側から操作できます。

【メーカー】
AVC



接続フランジICF70
移動フランジICF70		 ATS-275 473,000円 お問い合せ
接続フランジICF114
移動フランジICF114		 ATS-4 550,000円 お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】
許容リーク量 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
真空シール方式 溶接ベローズ方式
駆動方式 ネジ式
許容加熱温度 ≦200℃
マイクロメーター部除く

型 式
A接続フランジ
B移動フランジ
C内径
（mm）
D
（mm）
E
（mm）
F
（mm）
G
（mm）
H
（mm）
傾斜角
重量
（Kg）
ATS-275 ICF70-FH
ICF70-FT		 φ38 118±6.5 45 80 φ110 160 ±5° 2
ATS-4 ICF114-FH
ICF114-FT		 φ70 129±6.5 53 95 φ155 205 4.7