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従来のB-Aゲージを改良し、とくに高圧側の測定範囲が広がりました。ガス出し方式はグリッド通電方式を採用。ケーブルとの接続はコネクタ方式(ソケット型)で手軽にかつ確実に脱着可能です。真空装置との接続はφ15アダプタを用いるかφ70ICF付のガラスアダプタへガラス封着します。【メーカー】キヤノンアネルバ
【仕様】 形状 ガラス管状 推奨測定範囲 10Pa〜10-6Pa 標準感度 0.075Pa-1 N2に対して x線限界 約1.3×10-8Pa ベーク可能温度 400℃(ただしOリングシール時150℃以下) 材質 フィラメント トリアコートイリジウム(1本) 容器 タングステンガラス(開放) 使用可能真空計電源 M-822HG 用途 高圧(10Pa)まで測定可能なB-Aゲージ、スパッタ等