【仕様】30KV電子銃
| 型 式 | RDA-005G(RDA-005G-DP※1) |
| 絶縁耐圧 | DC 30kV |
| ビームスポット径 | φ９０μm以下 |
| フィラメント | タングステンヘアピン |
| ウェネルト | 可変バイアス |
| 集束レンズ | 電磁レンズ |
| 偏向レンズ | トロイダル電磁レンズ |
| ビーム偏向 | ±8° |
| 磁気シールド | 標準装備 |
| 動作圧力 | <1×10-3Pa(<1Pa※1) |
| 最大許容ベーク温度 | 200℃ |
| 取付フランジ | ICF70 |
| 寸法 | φ100mm×335mm(ｺﾈｸﾀを含むと455mm) |
※1差動排気タイプ(オプション)
30KV電子銃制御電源
| 型 式 | RDA-006P |
| 加 速 電 圧 | -3〜-30KV(ﾘｯﾌﾟﾙ15Vp-p) |
| ｴﾐｯｼｮﾝ電流 | 最大80μA |
| フィラメント電源 | 0〜+2V 最大1.9A |
| ﾊﾞｲｱｽ電源 | 0〜480V可変(ﾘｯﾌﾟﾙ5mVp-p) |
| ﾒﾓﾘ機能付ﾘﾓｺﾝ | LCD表示:加速電圧,ｴﾐｯｼｮﾝ電流,ﾌｨﾗﾒﾝﾄ電流
ﾊﾞｲｱｽ電圧,ﾋﾞｰﾑ偏向(X/Y),ﾌｫｰｶｽ(Z) |
| ｲﾝﾀｰﾛｯｸ | 高電圧ｲﾝﾀｰﾛｯｸ |
| ｹｰﾌﾞﾙ | 高圧ｹｰﾌﾞﾙ(5m),ﾘﾓｺﾝｹｰﾌﾞﾙ(7m) |
| 外部入出力 | ｱﾅﾛｸﾞﾃﾞｼﾞﾀﾙI/O,kSA400 ｶﾞﾝｺﾝﾄﾛｰﾙ対応 |
| 入力電源 | AC100V |
| 寸法 | EIA 4U 高さ177mm×幅482.5mm×奥行450mm |
| その他 | RoHS対応 |
*外観・及び仕様は、改良のため予告なく変更する場合があります。
