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非腐食性ガスの排気、 及びクリーン(ダイストリー)な 排気を必要とする用途向け 【標準バージョン】 軽量ガスの排気能力を向上させて ポンプ内での蒸気凝縮を避けるために、 ガスバラストを装備 【腐食性ガスバージョン】 微量の腐食性ガスが含まれている場合でも使用できる。 3つのパージガスジェットが 高圧ベアリングと低圧ベアリングを 保護し、微量の腐食性ガスを希釈 ※価格は単相です。 三相仕様の価格はお問い合わせ下さい。 【メーカー】 PFEIFFER
到達真空度 ガスバラストあり
到達真空度 Gバージョンのみ
到達真空度 到達圧力、ガスバラスト開
到達真空度 SDバージョンのみ