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HiPaceターボ分子ドラッグポンプ

HiPaceターボ分子ドラッグポンプ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

コントローラ一体型
低振動・低音圧
頻繁なメンテナンス不要


【セット内容】
・本体
・OmniControl
・ｲﾝﾀｰﾌｪｰｽｹｰﾌﾞﾙ
・電源ｹｰﾌﾞﾙ
・接続ケーブル
・スプリンターシールド
・空冷ファン

【メーカー】
PFEIFFER


DN63CF-F HiPace80TC110 1,391,830円 お問合わせ下さい お問い合せ
DN100CF-F HiPace300TC110 2,384,030円 お問合わせ下さい お問い合せ
DN100CF-F HiPace300TC400 2,476,430円 お問合わせ下さい お問い合せ
DN160CF-F HiPace700TC400 4,185,830円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】
HiPace80TC110
HiPace300TC110
HiPace300TC400
HiPace700TC400
電子駆動ユニット TC110 TC110 TC400 IC400
吸気口 DN63 DN100F DN160
排気口 DN16 ISO-KF DN25 ISO-KF
ベント接続 G 1/8"
排気速度(H2) 48L/s 220L/s 555L/s
排気速度(He) 58L/s 255L/s 655L/s
排気速度(N2) 67L/s 260L/s 685L/s
排気速度(Ar) 66L/s 255L/s 665L/s
排気速度(CF4) ー 200L/s ー
圧縮比(H2) 1.4・105 9.0・105 4.0・105
圧縮比(He) 1.3・107 >1.0・108 >3.0・107
圧縮比(N2) >1.0・1011
圧縮比(Ar) >1.0・1011
圧縮比(CF4) ー >1.0・1011 ー
許容排気口圧力(Pa) 2.2・103 1.5・103 2.0・103 1.1・103
標準回転数による最大ガス流量(H2) 1.53Pa・m3/sec 0.14Pa・m3/sec 0.14Pa・m3/sec 0.14Pa・m3/sec
標準回転数による最大ガス流量(He) 0.27Pa・m3/sec 0.8Pa・m3/sec 2.0Pa・m3/sec 1.0Pa・m3/sec
標準回転数による最大ガス流量(N2) 0.13Pa・m3/sec 0.5Pa・m3/sec 1.4Pa・m3/sec 0.65Pa・m3/sec
標準回転数による最大ガス流量(Ar) 0.054Pa・m3/sec 0.2Pa・m3/sec 0.7Pa・m3/sec 0.35Pa・m3/sec
標準回転数による最大ガス流量(CF4) ー 0.2Pa・m3/sec 0.8Pa・m3/sec ー
到達真空度(48時間ベーキング後) ＜5.0・10-8 ＜1.0・10-8 ＜1.0・10-8 ＜5.0・10-8
定常回転数(1min) 90000 60000 49200
立ち上がり時間(min) 1.7 3.5 1.8 2.0
標準冷却方式 空冷、または、水冷
冷却水消費量(1/h) 75 50 50 100
最大冷却水温度 15-35℃
インターフェース RS-485, リモート
質量 3.8kg 8.2kg 8.7kg 17.4kg


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