【特長】オイルフリーの超高真空
イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現できます。
経済的
イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用しますと、排気速度・到達圧力を著しく向上することができます。
コンパクト設計 小型軽量で取付場所を選びません。
優れた制御機能 制御装置には、ON-OFFサイクルによるフィラメントの寿命の低下を
防ぐための、独特な制御方式を採用しております。
簡単な着脱制御装置とポンプ本体の接続は、コネクタ方式ですから着脱は簡単・確実です。
容易な交換蒸発源(チタンフィラメント、タイバックヘッド)の交換は容易にできます。
【仕様】ポンプ
| 名 称 |
チタンサブリメーション
ポンプ |
タイバックポンプ |
| 型名 |
956-7015 |
956-7040 |
| 動作圧力 |
3Pa以下 |
| 有効チタン量 |
約1g/1本 |
約15g |
| フィラメント数 |
3本 |
ー |
| チタン蒸発量 |
平均0.07g/H (1本)
45A通電時 |
平均0.35g/H
48A通電時 |
| 使用フランジ |
φ70ICF フランジ |
| 質量 |
約580g |
約680g |
制御電源
| 名 称 |
サブリメーションポンプ制御装置 |
| 型名 |
922-9119 |
| 入力 |
AC200±20V 1φ2A 50/60Hz
(内部配線変更によりAC100A使用可能) |
| 出力 |
電圧：2.8〜10.4V、AC(無負荷にて)
電流：最大 50A
電力：最大430W |
| 制御方法 |
2個の独立大タイマによるON-OFF制御
ON時の出力電圧：スライダックにて可変
OFF時の出力電圧：約3.6V、ACにて内部固定
タイマ設定 ：ON、OFF時間ともに
0〜15分間で設定可能
(設定時間の割合により蒸発→予熱
サイクルの割合を設定) |
| 質量 |
約19kg |
| 入力ケーブル |
器外長さ 2m |
| 出力ケーブル |
長さ 2m |
