形状 |
セパレートタイプ |
圧力測定範囲(N2) |
1x10-8Pa ~0.1Pa (ICF70フランジ使用時) |
表示圧力単位 |
Pa、Torr、mbar で切り替え |
バイアス |
3kV~500V最適制御(計測圧力に最適な電圧に自動制御) |
タフモード |
測定時カソード電極を通電加熱 (温度を3段階に設定可) |
デガスモード |
カソードを約700℃にフラッシュ加熱 |
インターフェイス |
RS232C、USB PCに接続可 |
入力信号 |
測定開始/停止
デガスON/OFF
タフモードON/OFF |
出力信号 |
セットポイント接点×2ch
アラーム接点 |
圧力信号出力 |
0-10V×2ch |
入力動作 |
AC85〜240V 50/60Hz |
シール部材質 |
バイトンシール(NW25) メタルOリングシール(ICF70) |
接続フランジ |
NW25(NW25KF)、ICF70(NW40CF)の2タイプ |