電極温度を上昇させて吸着性の高い分子をはね返す新しい発想のBA型電離真空計です。 真空装置内の汚染分子として問題になっているシロキサン等の雰囲気中でも感度の低下を起こさず、 10-7Paから10Paまでの圧力計測を長期間、高精度で測定することが可能です。