形状 |
トランスミッタタイプ(圧力表示なし) |
圧力測定範囲(N2) |
1x10-7Pa ~105Pa (ICF70フランジ使用時) |
電極材質 |
ピラニ:Pt-Ir ピラニ温度計:W BAフィラメント:Y-Ir グリッド:Pt-Mo コレクタ:Pt-Mo |
圧力単位 |
Pa、Torr、mbar |
入力電源 |
DC24V、1.6A |
タフモード(BAのみ) |
測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱OFF、 約300℃、約500℃、約700℃に設定可 |
デガス(BAのみ) |
グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱 |
インターフェイス |
RS232C 表示器(TGD100)、PCに接続可 |
入力信号 |
測定開始/停止
デガスON/OFF
タフモードON/OFF |
出力信号 |
セットポイント接点×2ch
アラーム接点 |
圧力信号出力 |
0-10V×1ch |
接続フランジ |
NW25(NW25KF) 及び ICF70(NW40CF) |