タフゲージ TG200
形状 |
トランスミッタタイプ(圧力表示なし) |
圧力測定範囲(N2) |
1x10-7Pa ~10Pa (ICF70フランジ使用時) |
入力電源 |
DC24V、1.6A |
圧力単位 |
Pa,Torr,mbar |
電極材質 |
フィラメント:Y-ir 2本
グリッド:Pt-Mo
コレクタ:Pt-Mo |
タフモード |
測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱OFF, 約300℃,約500℃,約700℃に設定可 |
デガス |
グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱 |
入力信号 |
測定開始/停止
デガス
タフモードON/OFF |
出力信号 |
セットポイント接点×2ch
アラーム接点 |
圧力信号出力 |
0-10V×1ch |
接続フランジ |
NW25(NW25KF) 及び ICF70(NW40CF) |
外部通信 |
RS232C 表示器(TGD100)、PCに接続可 |
|