実績のある四重極質量分析計と分析用ソフトウェア

	【スマートヘッド四重極質量分析計】　MicroVision2
	■高速でワイドなダイナミックレンジ 　■コントローラをアナライザに直接付けるスマートヘッドタイプ 　■汚染に耐性のあるダブルフィルタ [pdfダウンロード]

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	【四重極質量分析計】　e-Vision2
	■真空ライン、溶接やシールのリークの検出 　■ポンプダウンの監視 　■冷却水ラインの漏れ監視 　■汚染物質のモニタリング

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	【高圧力差動四重極 RGA】　SPECTRA HPQ3シリーズ
	■PVDプロセスでは差動排気系ポンプ不要 　■全自動 in-situプロセスモニタリング可能 　■自動定期レポート可能なソフトウェア

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	【バキュームクオリティモニタ(VQM)システム】　シリーズ835VQM質量分析計システム
	■80ミリ秒で1～145amu、120ミリ秒で1～300amu範囲の全圧・分圧測定 　■一般的な10種の主要構成ガスのパーセンテージ、絶対値、全圧・分圧のトレンドグラフに即アクセス 　■水素とヘリウムを正確に測定(ゼロプラストなし) 　■真空システムでご使用中のガスで簡単に単一ガス校正可能 　■わずか15Wの所要電力 　■1～15mのケーブルを使用し遠隔でのゲージ取り付けが可能

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	【大気圧オンラインモニタ】　Cirrus3-XD
	プロセスガス中のコンタミ、溶剤蒸気、炭化水素、 待機及び無機ガス種、フレオン、希ガス等の気体を in-situで監視、分析に最適 V-lens光学系により前モデルよりもバックグラウンドを低減

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	【四重極プロセスモニタ】　Vision 2000-C/E
	■CVD、エッチング、イオン注入プロセスのin-situ連続 　　プロセスモニタリング可能 　■RGAアナライザ、真空システム、制御ユニット、ソフトウェアからなる 　　一体型システム