【仕様】
| IBV16MKS |
IBV25MKS |
IBV40MKS |
IBV50MKS |
| フランジ |
NW16 |
NW25 |
NW40 |
NW50 |
| コンダクタンス |
5.3L/s |
15.9L/s |
46.5L/s |
86.0L/s |
| 圧力定格 |
0.7MPa |
0.7MPa |
0.7MPa |
0.7MPa |
| 周囲温度範囲 |
5〜65℃ |
5〜65℃ |
5〜65℃ |
5〜65℃ |
| バルブボディ |
AISI 316L |
AISI 316L |
AISI 316L |
AISI 316L |
| シール |
PTFE |
| 使用範囲 |
7×105Pa〜10-4Pa
|
| リークレート |
1×10-7pam3/s |
1×10-7pam3/s |
1×10-7pam3/s |
1×10-7pam3/s |
| 重量 |
1.2kg |
1.7kg |
3.1kg |
4.3kg |