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【特長】 ・バルブ開放をビジュアル表示する使いやすいバルブ（SP10K〜SP25K） ・10-7Pam3/sを超える気密性 ・ダイアフラムは完全に機構を真空システムから隔離 ・極めて丈夫で「不純物の多い」システムでも使用可能 ・0.9MPaの過圧に耐えうる（コーシール使用時） ・容易な保全ーダイアフラムの素材選択可能 【メーカー】 エドワーズ
