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ワイドレンジ電離真空計セット

ワイドレンジ電離真空計セット

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省スペース化と軽量化を実現
フィラメント切換え機能がリモートI/O操作でも行える
RS232Cの通信機能も標準装備
自動制御が行い易く、操作も容易

１．小型（1/4ラックサイズ）、軽量化(1.2kg)
２．圧力レンジ自動切換
３．豊富な外部制御機能により遠隔操作が行えます。
４．セットポイントを２点標準装備
５．ＣＥマーキング適合&UL規格準拠
６. 入力電圧はワイド電圧

【メーカー】
キヤノンアネルバ


標準ゲージケーブル M-431HG-MG2 454,300円 お問合わせ下さい お問い合せ
標準ゲージケーブル M-431HG-MG2F 462,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
ベーカブルゲージケーブル M-431HG-MG2F-B 482,900円 お問合わせ下さい お問い合せ
ベーカブルゲージケーブル M-431HG_MG2-B 475,200円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】
M-431HGワイドレンジ電離真空計
圧力表示範囲0.01×10-7～13.2×100Pa
圧力表示デジタル、測定レンジ自動切換
セットポイント２点標準装備（ヒステリシス付）
D/A出力LOGまたは複合出力切換（0～10V）
アナログ出力0～10V（APC対応出力）
外部制御機能（リモート操作）INPUT ：ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFF ﾊﾟﾗﾒｰﾀLOCK ：ﾌｨﾗﾒﾝﾄ切換 ﾃﾞｶﾞｽON/OFF ：ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞ OUTPUT：ｾｯﾄﾎﾟｲﾝﾄ1,2 ：ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFFｽﾃｰﾀｽ ：ﾃﾞｶﾞｽｽﾃｰﾀｽ ﾌｨﾗﾒﾝﾄ1/2ｽﾃｰﾀｽ
通信機能RS232C標準搭載 (9600,4800,2400,1200bps)
寸法・質量104W×99H×296D 1.2Kg
所要電力50VA AC90～240V 50/60Hz 付属ｹｰﾌﾞﾙは100V仕様 200Vで使用される場合は別途ご相談下さい。
エミッション電流10μA,100μA,1mA（自動切換または固定）
ガス出しｸﾞﾘｯﾄﾞ通電加熱方式、通電ﾀｲﾏｰ３分
フィラメント切換ｷｰ及びﾘﾓｰﾄI/O操作
フィラメント保護13.3×100Pa
対応CEマーキング、RoHS(Category9)
ミニチュアゲージ
型式MG-2FMG-2
ﾎﾞﾃﾞｨｰ材質SUS304
測定上限圧力１３Pa
測定下限圧力10-7Pa台10-6Pa台
感度0.045Pa-1
ﾌｨﾗﾒﾝﾄﾌｨﾗﾒﾝﾄ２本内蔵ﾌｨﾗﾒﾝﾄ材：ｲｯﾄﾘｱｺｰﾄｲﾘｼﾞｳﾑ線
測定球容積約１２cc
所要電力ﾌｨﾗﾒﾝﾄ/ｸﾞﾘｯﾄﾞﾃﾞｶﾞｽ2.3W/1.0W
ﾃﾞｶﾞｽ方式ｸﾞﾘｯﾄﾞ通電
取付方法φ70ICFﾌﾗﾝｼﾞに接続φ15ｹﾞｰｼﾞｱﾀﾞﾌﾟﾀまたは、
各種ﾌﾗﾝｼﾞに溶接可


【用途】
・自働化真空装置の圧力測定
・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
・マルチチャンバシステムでの圧力測定
・一般真空装置の圧力測定

【セット内容】
・M-431HGワイドレンジ電離真空計
・ミニチュアゲージ
・ミニチュアゲージ用ケーブル 5m

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