【仕様】M-431HGワイドレンジ電離真空計
| 圧力表示範囲 | 0.01×10-7〜13.2×100Pa |
| 圧力表示 | デジタル、測定レンジ自動切換 |
| セットポイント | ２点標準装備（ヒステリシス付） |
| D/A出力 | LOGまたは複合出力切換（0〜10V） |
| アナログ出力 | 0〜10V（APC対応出力） |
| 外部制御機能（リモート操作） | INPUT ：ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFF ﾊﾟﾗﾒｰﾀLOCK ：ﾌｨﾗﾒﾝﾄ切換 ﾃﾞｶﾞｽON/OFF
：ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞ
OUTPUT：ｾｯﾄﾎﾟｲﾝﾄ1,2 ：ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFFｽﾃｰﾀｽ
：ﾃﾞｶﾞｽｽﾃｰﾀｽ ﾌｨﾗﾒﾝﾄ1/2ｽﾃｰﾀｽ |
| 通信機能 | RS232C標準搭載
(9600,4800,2400,1200bps) |
| 寸法・質量 | 104W×99H×296D 1.2Kg |
所要電力 | 50VA AC90〜240V 50/60Hz 付属ｹｰﾌﾞﾙは100V仕様
200Vで使用される場合は別途ご相談下さい。 | エミッション電流 | 10μA,100μA,1mA（自動切換または固定） |
| ガス出し | ｸﾞﾘｯﾄﾞ通電加熱方式、通電ﾀｲﾏｰ３分 |
| フィラメント切換 | ｷｰ及びﾘﾓｰﾄI/O操作 |
| フィラメント保護 | 13.3×100Pa |
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| 対応 | CEマーキング、RoHS(Category9) |
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ミニチュアゲージ
| 型式 | MG-2F | MG-2 |
| ﾎﾞﾃﾞｨｰ材質 | SUS304 |
| 測定上限圧力 | １３Pa |
| 測定下限圧力 | 10-7Pa台 | 10-6Pa台 |
| 感度 | 0.045Pa-1 |
| ﾌｨﾗﾒﾝﾄ | ﾌｨﾗﾒﾝﾄ２本内蔵ﾌｨﾗﾒﾝﾄ材：ｲｯﾄﾘｱｺｰﾄｲﾘｼﾞｳﾑ線 |
| 測定球容積 | 約１２cc |
| 所要電力ﾌｨﾗﾒﾝﾄ/ｸﾞﾘｯﾄﾞﾃﾞｶﾞｽ | 2.3W/1.0W |
| ﾃﾞｶﾞｽ方式 | ｸﾞﾘｯﾄﾞ通電 |
| 取付方法 | φ70ICFﾌﾗﾝｼﾞに接続 | φ15ｹﾞｰｼﾞｱﾀﾞﾌﾟﾀまたは、
各種ﾌﾗﾝｼﾞに溶接可 |
【用途】
・自働化真空装置の圧力測定
・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
・マルチチャンバシステムでの圧力測定
・一般真空装置の圧力測定
【セット内容】
・M-431HGワイドレンジ電離真空計
・ミニチュアゲージ
・ミニチュアゲージ用ケーブル 5m
